![](../../fw1003/fw0120/dy0738.gif)
![電界](../../fw1003/fw0117/dy1027.gif)
![有限要素法](../../fw1003/fw0117/dy1019.gif)
![静解析](../../fw1003/fw0117/dy1026.gif)
ヒータの電流分布解析事例
半導体製造装置内のヒータの電流分布解析
解析テーマ : ヒータの電流分布の評価解析
半導体製造装置内のヒータの電流分布解析
解析概要 : 厚さが [10μm] の薄膜上に、直径が [100μm] の2本の導電・円柱針を接触させ、この2本の針から直流電流を流入さた場合の
ウェーハ内の電流分布を解析しました。
2本の導電・円柱針は下図の位置で接触させました。
解析ツール :電界解析ソフトウェア F-VOLT
解析モデル概要
![解析モデル概要](../../fw1003/fw0121/dz2105.jpg)
解析結果
電流分布コンター図 (単位:A/m2)
![電流分布コンター図 (単位:A/m<sup>2</sup>)](../../fw1003/fw0121/dy2372.jpg)
モデル全体
![導電・円柱針非表示](../../fw1003/fw0121/dy2373.jpg)
導電・円柱針非表示
![導電・円柱針非表示(ZX断面)](../../fw1003/fw0121/dy2374.jpg)
導電・円柱針非表示(ZX断面)
![薄膜](../../fw1003/fw0121/dy2375.jpg)
薄膜
![薄膜 (ZX断面)](../../fw1003/fw0121/dy2376.jpg)
薄膜 (ZX断面)
![シリコンウェハ](../../fw1003/fw0121/dy2377.jpg)
シリコンウェハ
![シリコンウェハ(ZX断面)](../../fw1003/fw0121/dy2378.jpg)
シリコンウェハ(ZX断面)
この評価解析は電界解析ソフトウェア F-VOLT で行いました。
F-VOLT につきましてこちらへ
評価解析につきましてこちらへ
この解析結果につきまして詳細な内容をご希望の方は、資料請求ページの「ご質問/ご要望等」欄にその旨ご記入ください。
※各商標または商品名はそれぞれの所有権保持者の商標または登録商標です。