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ヒータの電界解析

半導体製造装置内のヒータの電界解析

薄膜上に2本の導電・円柱針を接触させ、この2本の針から直流電流を流入さた場合のウェーハ内の電界分布を解析しました。
2本の導電・円柱針は下図の位置で接触させました。
この評価解析は電界解析ソフトウェアF-VOLTで行いました。

解析モデル概要

解析モデル概要

この評価解析の結果として

・ 電流分布コンター図

を作成しました。

このテーマの解析結果はダウンロードできます。ご希望の方は、所定の方法でお申し込みください。

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