![](../../fw1003/fw0120/dy0738.gif)
![電界](../../fw1003/fw0117/dy1027.gif)
![有限要素法](../../fw1003/fw0117/dy1019.gif)
![静解析](../../fw1003/fw0117/dy1026.gif)
静電気力解析事例
マイクロアクチュエータの静電気力解析
解析テーマ : 静電気力の評価解析
マイクロアクチュエータの静電気力解析
解析概要 : マイクロアクチュエータの動作原理としては,静電気力,光と熱,圧電効果,超音波などがあります。
解析ツール :電界解析ソフトウェア F-VOLT
解析モデル概要
![](../../fw1003/fw0121/dz2106.jpg)
3次元メッシュモデル
![](../../fw1003/fw0121/dz2107.jpg)
解析結果
電位分布コンター図 (単位:V)
![電位分布コンター図 (単位:V)](../../fw1003/fw0121/dy2379.jpg)
100V設定側
![電位分布コンター図 (単位:V)](../../fw1003/fw0121/dy2380.jpg)
0V設定側
![電位分布コンター図 (単位:V)](../../fw1003/fw0121/dy2381.jpg)
側面図 (Z方向に100倍拡大)
静電気力
![静電気力](../../fw1003/fw0121/dy2382.jpg)
この評価解析は電界解析ソフトウェア F-VOLT で行いました。
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