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静電気力解析事例

マイクロアクチュエータの静電気力解析

静電気力は2つの電荷(電気量)の積に比例し距離 の2乗に反比例しますが、マイクロアクチュエータの簡単なモデルで、この静電気力を解析しました。
この解析は電界解析ソフトウェアF-VOLTで行いました。

解析モデル概要

3次元メッシュモデル

解析結果

電位分布コンター図 (単位:V)

電位分布コンター図 (単位:V)

100V設定側

電位分布コンター図 (単位:V)

0V設定側

電位分布コンター図 (単位:V)

側面図 (Z方向に100倍拡大)

静電気力

静電気力

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