静電気力解析事例

マイクロアクチュエータの静電気力解析

解析テーマ ： 静電気力の評価解析

マイクロアクチュエータの静電気力解析

解析概要 ： マイクロアクチュエータの動作原理としては，静電気力，光と熱，圧電効果，超音波などがあります。

解析ツール ：電界解析ソフトウェア F-VOLT

解析モデル概要

３次元メッシュモデル

解析結果

電位分布コンター図 (単位：V)

100V設定側

0V設定側

側面図 (Z方向に100倍拡大)

静電気力

この評価解析は電界解析ソフトウェア F-VOLT で行いました。

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